LaAlO3 субстрат
Тодорхойлолт
ЛаАлО3дан болор нь хамгийн чухал үйлдвэржсэн, том хэмжээтэй өндөр температурт хэт дамжуулагч нимгэн хальсан субстрат нэг болор материал юм.Чочральскийн аргаар ургасан, 2 инч диаметртэй ба түүнээс дээш хэмжээтэй дан болор, субстрат авч болно. Энэ нь өндөр температурт хэт дамжуулагч богино долгионы электрон төхөөрөмж (өндөр температурт хэт дамжуулагч богино долгионы шүүлтүүрт холын зайн холболт гэх мэт) үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Үл хөдлөх хөрөнгө
| Кристал бүтэц | M6（хэвийн температур） | M3（>435℃） |
| Нэгж эсийн тогтмол | M6 a=5.357A c=13.22 A | M3 a=3.821 A |
| Хайлах цэг（℃） | 2080 | |
| Нягт（г/см3） | 6.52 | |
| Хатуулаг (Mho) | 6-6.5 | |
| Дулааны тэлэлт | 9.4x10-6/℃ | |
| Диэлектрик тогтмолууд | ε=21 | |
| Секантын алдагдал（10Гц) | ～3×10-4@300k,～0.6×10-4@77к | |
| Өнгө ба харагдах байдал | Нөхцөл байдал нь бороос хүрэн хүртэл өөр өөр байдаг | |
| Химийн тогтвортой байдал | Өрөөний температур нь эрдэс бодисуудад уусдаггүй, уусдаг h3po4-д температур нь 150 ℃-аас их байдаг. | |
| Онцлог шинж чанарууд | Богино долгионы электрон төхөөрөмжийн хувьд | |
| Өсөлтийн арга | Чехральскийн арга | |
| Хэмжээ | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20， | |
| Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″ | ||
| Зузаан | 0.5 мм, 1.0 мм | |
| Өнгөлгөө | Ганц эсвэл давхар | |
| Кристал чиг баримжаа | ＜100＞ ＜110＞ ＜111＞ | |
| Дахин чиглүүлэх нарийвчлал | ±0.5° | |
| Edge-ийг дахин чиглүүлэх | 2°（1°-д тусгайлан） | |
| Кристалын өнцөг | Тусгай хэмжээ, чиглэлийг хүсэлтээр авах боломжтой | |
| Ra | ≤5Å（5µm×5µm） | |
| Багц | 100 цэвэр цүнх， 1000 яг цэвэр уут | |
Бага диэлектрик тогтмолын давуу тал
Дохионы гажуудлыг багасгах: Электрон хэлхээ ба холбооны системд диэлектрик тогтмол бага байх нь дохионы гажуудлыг багасгахад тусалдаг.Диэлектрик материалууд нь цахилгаан дохионы тархалтад нөлөөлж, дохионы алдагдал, саатал үүсгэдэг.Low-k материалууд нь эдгээр нөлөөллийг бууруулж, илүү нарийвчлалтай дохио дамжуулж, системийн ерөнхий гүйцэтгэлийг сайжруулдаг.
Тусгаарлалтын үр ашгийг дээшлүүлэх: Диэлектрик материалыг ихэвчлэн дамжуулагч хэсгүүдийг тусгаарлах, гоожихоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд тусгаарлагч болгон ашигладаг.Бага диэлектрик тогтмол материал нь зэргэлдээх дамжуулагчийн хоорондох электростатик холболтод алдагдсан энергийг багасгах замаар үр дүнтэй тусгаарлагчийг хангадаг.Үүний үр дүнд эрчим хүчний хэмнэлт нэмэгдэж, цахилгаан системийн эрчим хүчний зарцуулалт буурдаг.
