MgF2 субстрат
Тодорхойлолт
MgF2 нь 110нм-ээс 7.5μм хүртэлх долгионы урттай линз, призм, цонх болгон ашигладаг.Энэ нь 193 нм-д сайн дамжуулдаг тул ArF Excimer Laser-ийн цонхны хувьд хамгийн тохиромжтой материал юм.Энэ нь хэт ягаан туяаны бүсэд оптик туйлширч үр дүнтэй байдаг.
Үл хөдлөх хөрөнгө
| Нягт（г/см3） | 3.18 |
| Хайлах цэг(℃) | 1255 |
| Дулаан дамжуулалтын | 300К-д 0.3 Вт-1К-1 |
| Дулааны тэлэлт | 13.7 x 10-6 /℃ зэрэгцээ в тэнхлэг 8.9 x 10-6 /℃ перпендикуляр в тэнхлэг |
| Хатуу хатуулаг | 415, 100г-ийн зайтай (кг/мм2) |
| Тусгай дулаан багтаамж | 1003 Ж/(кг.к) |
| Диэлектрик тогтмол | 1 МГц-ийн зэрэгцээ в тэнхлэгт 1.87 1 МГц перпендикуляр в тэнхлэгт 1.45 |
| Залуус модуль (E) | 138.5 ГПа |
| Таслах модуль (G) | 54.66 ГПа |
| Бөөн модуль (K) | 101.32 GPa |
| Уян хатан коэффициент | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| Илэрхий уян хатан хязгаар | 49.6 МПа (7200 psi) |
| Пуассоны харьцаа | 0.276 |
MgF2 субстратын тодорхойлолт
MgF2 субстрат нь магнийн фтор (MgF2) болор материалаар хийгдсэн субстратыг хэлнэ.MgF2 нь магни (Mg) ба фтор (F) элементүүдээс тогтсон органик бус нэгдэл юм.
MgF2 субстратууд нь олон төрлийн хэрэглээнд, ялангуяа оптик болон нимгэн хальсан бүрхүүлийн салбарт түгээмэл хэрэглэгддэг хэд хэдэн онцлог шинж чанартай байдаг.
1. Ил тод байдал: MgF2 нь цахилгаан соронзон спектрийн хэт ягаан туяа (хэт ягаан туяа), үзэгдэх ба хэт улаан туяаны (IR) бүсэд маш сайн тунгалаг байдаг.Энэ нь 115 нм-ийн хэт ягаан туяанаас 7500 нм-ийн хэт улаан туяа хүртэлх өргөн хүрээтэй.
2. Хугарлын бага илтгэгч: MgF2 нь хугарлын харьцангуй бага илтгэгчтэй бөгөөд энэ нь хүсээгүй тусгалыг багасгаж, гэрлийн дамжуулалтыг сайжруулдаг тул AR бүрэх болон оптикт тохиромжтой материал болдог.
3. Шингээлт бага: MgF2 нь хэт ягаан туяа болон харагдах спектрийн бүсэд бага шингээлттэй байдаг.Энэ шинж чанар нь линз, призм, хэт ягаан туяа эсвэл харагдахуйц цацрагт зориулсан цонх зэрэг өндөр оптикийн тунгалаг байдал шаарддаг хэрэглээнд ашигтай болгодог.
4. Химийн тогтвортой байдал: MgF2 нь химийн хувьд тогтвортой, олон төрлийн химийн бодисуудад тэсвэртэй, байгаль орчны янз бүрийн нөхцөлд оптик болон физик шинж чанараа хадгалдаг.
5. Дулааны тогтвортой байдал: MgF2 нь өндөр хайлах цэгтэй бөгөөд ажлын өндөр температурт мэдэгдэхүйц доройтолгүйгээр тэсвэрлэх чадвартай.
MgF2 субстратыг янз бүрийн төхөөрөмж, системд оптик бүрхүүл, нимгэн хальсан бүрхүүл, оптик цонх эсвэл линз зэрэгт ихэвчлэн ашигладаг.Эдгээр нь хагас дамжуулагч материал эсвэл металл бүрээс зэрэг бусад нимгэн хальсыг ургуулах буфер давхарга эсвэл загвар болж чаддаг.
Эдгээр субстратуудыг ихэвчлэн MgF2 материалыг тохиромжтой субстратын материал дээр байрлуулж эсвэл нэг талст хэлбэрээр ургуулдаг уурын хуримтлал эсвэл физик уур тээвэрлэх аргуудыг ашиглан үйлдвэрлэдэг.Хэрэглээний шаардлагаас хамааран субстрат нь вафель, хавтан эсвэл захиалгат хэлбэртэй байж болно.
