SrTiO3 субстрат
Тодорхойлолт
SrTiO3 дан болор нь перовскит бүтцийн материалтай сайн торны бүтэцтэй.Энэ нь HTS болон ихэнх оксидын хальсны эпитакси өсөлтөд маш сайн субстрат материал юм.Энэ нь өндөр температурт хэт дамжуулагч нимгэн хальсыг судлахад өргөн хэрэглэгддэг.Энэ нь мөн тусгай оптик цонх, өндөр чанартай цацах зорилтот өргөн хэрэглэгддэг.
Үл хөдлөх хөрөнгө
Чиглэл: (100) +/-0.5 градус
Ирмэгийн чиглэл Заалт: <001> +/-2 градус нэмэлт зардалтай сонголтоор боломжтой
Польш: Нэг талын EPI нь CMP технологиор өнгөлсөн, гадаргын торны гэмтэл багатай.
Багц: 1000 ангиллын цэвэрхэн өрөөнд 100 зэрэглэлийн гялгар уутанд савласан.
| Кристал бүтэц | Куб, a=3.905 A |
| Өсөлтийн арга | Вернуил |
| Нягт（г/см3） | 5.175 |
| Хайлах цэг（℃） | 2080 |
| Хатуулаг (Mho) | 6 |
| Дулааны тэлэлт | 10.4 (x10-6/ ℃) |
| Диэлектрик тогтмол | ~ 300 |
| 10 GHz дээр тангенсийн алдагдал | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Өнгө ба харагдах байдал | Ил тод (заримдаа бага зэрэг бор өнгөтэй байдаг.Заримдаа анивчих нөхцөлөөр).Ихэр байхгүй |
| Химийн тогтвортой байдал | Усанд уусдаггүй |
SrTiO3 субстратын тодорхойлолт
SrTiO3 субстрат нь стронцийн титанатын нэгдэл (SrTiO3) -аас бүрдсэн талст субстратыг хэлнэ.SrTiO3 нь шоо болор бүтэцтэй перовскит материал бөгөөд өндөр диэлектрик тогтмол, өндөр дулааны тогтвортой байдал, бусад олон материалтай сайн тохирох тороор тодорхойлогддог.
SrTiO3 субстратыг нимгэн хальсан бүрхүүл, эпитаксиаль өсөлтийн салбарт өргөнөөр ашигладаг.SrTiO3-ийн куб бүтэц нь маш сайн талст чанар, согогийн нягтрал багатай өндөр чанартай нимгэн хальс үүсгэх боломжийг олгодог.Энэ нь SrTiO3 субстратыг янз бүрийн хэрэглээнд зориулж эпитаксиаль хальс болон гетероструктурыг ургуулахад маш тохиромжтой болгодог.
SrTiO3-ийн өндөр диэлектрик тогтмол нь конденсатор, санах ойн төхөөрөмж, төмөр цахилгаан нимгэн хальс зэрэг хэрэглээнд тохиромжтой.Түүний дулааны тогтвортой байдал нь өндөр температурт хэрэглэхэд тохиромжтой.
Цаашилбал, SrTiO3-ийн олон янзын шинж чанарууд, тухайлбал түүний бага температурт металл дамжуулах чанар, хэт дамжуулагч төлөвийг өдөөх чадвар нь түүнийг конденсацын физикийн судалгаа, электрон болон оптоэлектроник төхөөрөмжийг хөгжүүлэхэд ашигтай болгодог.
Дүгнэж хэлэхэд, SrTiO3 субстрат нь стронцийн титанатаас бүрдсэн талст субстрат бөгөөд тэдгээр нь өндөр диэлектрик тогтмол, дулааны тогтвортой байдал, сайн тортой тохирох шинж чанаруудаас шалтгаалан нимгэн хальсан бүрхүүл, эпитаксиаль өсөлт, өргөн хүрээний электрон болон оптоэлектроник хэрэглээнд ашиглагддаг.
